4轴圆柱坐标洁净机械手臂 - 芯钛科半导体

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 JEL STCR4160SN 晶圆搬运机械手臂 4轴圆柱坐标洁净机械手臂 使用环境：大气环境 手臂 ：双臂 到达距离：315mm (手臂第3关节中心基准) 升降轴最大行程： 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 可搬运质量： 3kg (手臂第3关节处基准) 4轴圆柱坐标洁净机械手臂
JEL STCR4160S
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 JEL STCR4160S 晶圆搬运机械手臂 4轴圆柱坐标洁净机械手臂 超洁净无尘间用4轴圆柱坐标型洁净机械手臂STCR4000S系列。 适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运，双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间。 机械手臂标准臂长：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用2相步进电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指 4轴圆柱坐标洁净机械手臂
JEL MTCR4160
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4轴圆柱坐标洁净机械手臂

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 JEL MTCR4160 晶圆搬运机械手臂 4轴圆柱坐标洁净机械手臂 超洁净无尘间用300mm晶圆对应MTCR4000系列。 适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。 全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求。 比MTHR系列具有更好的性价比优势。 机械手臂标准臂长:160mm, 200mm 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指 4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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