JEL STCR4160S
晶圆搬运机械手臂
4轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品特点
超洁净无尘间用4轴圆柱坐标型洁净机械手臂STCR4000S系列。
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运，双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间。
机械手臂标准臂长：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指
