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3轴圆柱坐标洁净机械手臂(采用闭环位置控制)
3轴圆柱坐标洁净机械手臂
3轴圆柱坐标洁净机械手臂 (防水式)
4轴圆柱坐标洁净机械手臂
4轴水平多关节型洁净机械手臂
晶圆搬运机械手臂的主要作用是在半导体制造的不同环节(如光刻、蚀刻、沉积、检测等)之间,实现晶圆的自动化、无污染、高精度转移。