JEL GTFR5280
晶圆搬运机械手臂
5轴水平多关节型洁净机械手臂
产品特点
可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂。
单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。
适用于300mm半导体生产设备内部，适用于EFEM的晶片搬运。
与我司以往产品的GTCR相比，减少动作禁止区域、速度限制的影响，提高传片效率。
机械手臂可以单独对应3个FOUP（280mm臂长）
双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
绝对值编码器规格的AC伺服电机, 无需电池/直驱电机
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
