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芯钛科亮相深圳湾芯展,硬核传输方案重磅登场!
2026年10月29日

2026 湾区半导体产业生态博览会 (湾芯展) 正式启幕,芯钛科半导体设备携多款核心晶圆传输设备,在9 号馆 - 9A03 展位,与行业同仁共话国产半导体装备创新之路。


开展首日,展台人气持续高涨,众多行业客户、技术伙伴驻足交流,咨询设备方案、探讨产线适配需求。本次我们重点展出JELC 真空机械手- 四轴双臂双叉 / 四叉系列、EFEM 设备、机械手指、磨轮等核心产品,覆盖晶圆真空传输、前端上下料、耗材配套等场景,为晶圆制造、先进封装等工艺提供稳定、高效的国产传输解决方案。


芯钛科亮相深圳湾芯展,硬核传输方案重磅登场!(图1)


明星展品:JELC 真空机械手 - 四轴双臂双叉 / 四叉系列 作为本次展台的重点,这款真空机械手专为高真空工艺场景打造,采用高真空静态密封、全轴直驱方案,低震稳定;支持0 轴 360° 旋转、高行程 Z 轴,适配单 / 双工艺工位,满足高 WPH 产能;标配 AWC 自动校准与网口通信,传输精准、集成便捷,适配各类真空晶圆传输场景。从腔体内部精准取片,到长期连续生产的稳定性,JELC 真空机械手兼顾产能、良率与可集成性,是真空工艺环节的可靠传输核心。


除此之外,本次同步展出的EFEM 设备前端模块,作为晶圆进出工艺设备的“枢纽”,实现晶圆的洁净上料、对位、传输,可搭配真空机械手形成整套自动化传输链路;配套展出的机械手指、磨轮等精密零部件与耗材,覆盖整机配套、备件替换需求,给客户提供一站式配套选择。


国产替代浪潮之下,芯钛科持续深耕半导体精密传输设备领域,聚焦真空传输、洁净搬运核心技术打磨,不断优化设备稳定性、适配性,助力产业链客户降本增效。

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