STK-7200V_全自動ウエハマウンター_SINTAIKE

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トップペ 製品です ウエハマウンター STK-7200V
STK-7200V
全自動ウエハマウンター（真空）
特徴です
全自動ウエハマウンター
ローラーなしの特殊な真空取り付け技術（ローラー取り付けはオプション）
標準的な 6、8ウェハ用の台盤で 6”、8のウェハに対応
ベアリング：6/8 DISCO標準リングにも対応可能
日本製JELのウェハ搬送ロボット＆アライナー
汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
体積：1750mm（幅）×1350mm（奥行）×1800mm（高さ）
本体重量：890kg
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