JEL SAL20C1_晶圆校准器_芯钛科半导体

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首页产品中心晶圆校准器 JEL SAL20C1

JEL SAL20C1

SAL20C1（边缘夹持式）晶圆校准器

产品特点

适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。
边缘夹持方式能够实现手指和晶圆接触面积的最小化。

通过夹持晶圆边缘的方式高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
避免由于表面摩擦所造成的颗粒污染
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

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