STK-3200_Sorter_芯钛科半导体设备(上海)有限公司
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Sorter
STK-3200
STK-3200
全自动晶圆倒片机 晶圆传片机
产品特点
可用于传输150mm/200mm 晶圆
适用于6寸、8寸晶圆
满足ISO Class1洁净等级
模块化设计，维护成本低
设备结构紧凑，占地面积小
设备符合SEMLS2及SEMLF47标
可根据客户需求定制开发FA
可选配Vacuum、Passive、Gripper、Bernouli 机械手EE
高度定制化，可根据客户需求非标定制
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