JEL STCR4160SN_4軸円筒座標型クリーンロボット_SINTAIKE

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トップペ 製品です ウェハ用クリーンロボット JEL STCR4160SN
JEL STCR4160SN
4軸円筒座標型クリーンロボット
特徴です
設置環境：クリーンルーム内大気
アーム：ツインアーム
到達距離：315 mm (第3関節中心距離)
昇降距離：200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm
可搬質量：3 kg (第3関節換算)
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