3 PORT EFEM_EFEM_芯钛科半导体设备(上海)有限公司

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3 PORT EFEM

EFEM

产品特点

12”标准机型，可兼容8”产品（通过Adapter）
采用双臂拟似多轴功能机械手
材料符合RoHS规范，洁净度最高可达ISO Class 3
多种传感器等监测元件，实时检测设备状态
即时摄像监控，各种条码、二维码、字符码识别，完整追踪生产过程
提供客制化晶圆搬送需求

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