芯钛科半导体 | STK-3200 SORTER | 半导体晶圆导片机 | 国产 6/8寸晶圆传片机

STK-3200
全自动晶圆倒片机 晶圆传片机
产品特点
可用于传输150mm/200mm 晶圆
适用于6寸、8寸晶圆
满足ISO Class1洁净等级
模块化设计,维护成本低
设备结构紧凑,占地面积小
设备符合SEMLS2及SEMLF47标
可根据客户需求定制开发FA
可选配Vacuum、Passive、Gripper、Bernouli 机械手EE
高度定制化,可根据客户需求非标定制